半導体製造装置

半導体集積回路（IC、または、単に半導体）の製造に使用される装置・機器の総称。、半導体を製造するための、半導体の基になる材料の加工から組立て・検査までをする装置のことで、半導体製造装置には、半導体を製造する前工程と後工程の製造工程毎に様々な装置が存在する。